自动薄膜厚度测量仪的测量精度受哪些因素影响呢？
1，基体金属磁性磁性法测厚受基体金属磁性变化的影响（在实际应用中，低碳钢磁性的变化可以认为时轻微的）。为了避免热处理、冷加工等因素的影响，应使用与试件金属具有相同性质的铁基片对仪器进行校准。
2，基体金属厚度每一种仪器都有一个基体金属的临界厚度。大于这个厚度测量就不受基体厚度的影响。
3，边缘效应便携式自动薄膜厚度测量仪对试片表面形状的陡变敏感。因此在靠近试片边缘或内转角处进行测量是不可靠的。
4，曲率试件的曲率对测量有影响，这种影响总是随着曲率半径的减小明显地增大。因此不应在试件超过允许的曲率半径的弯曲面上测量。
5，表面粗糙度基体金属何覆盖层的表面粗糙度对测量有影响。粗糙度增大，影响增大。粗糙表面会引起系统误差何偶然误差。每次测量时，在不同位置上应增加测量的次数，以克服这种偶然误差。如果基体金属粗糙，还必须在未屠夫的粗糙度相类似的基体金属试件上取几个位置校对仪器的零点；或用没有腐蚀性的溶液除去基体金属覆盖层，再校对便携式自动薄膜厚度测量仪的零点。
6，磁场周围各种电气设备所产生的强磁场，会严重地干扰磁性法测量厚度的工作。
7，附着物质本仪器对那些妨碍探头与覆盖层表面紧密接触的附着物质敏感。因此必须清除附着物质，以保证探头与覆盖层表面直接接触。
8，便携式自动薄膜厚度测量仪探头压力探头置于试件上施加的压力大小会影响测量的读数。因此本仪器探头用弹簧保持一个基本恒定的压力。
9，便携式自动薄膜厚度测量仪探头的放置探头的放置方式对测量有影响。在测量中，应当使探头与试样表面保持垂直。
10，便携式自动薄膜厚度测量仪试件的变形探头使软覆盖层试件变形。因此在这些试件上会测出不太可靠的数据。读数次数通常仪器的每次读数并不*相同。因此必须在每一测量面积内取几个读数，覆盖层厚度的局部差异，也要求在任一给定的面积内进行多次测量。表面粗糙时更应如此。
